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產品中心

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晶圓擴膜機01

上架時間:2024-03-27

產品簡介:

產品參數

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產品信息
品質保證/超長質保/運轉無憂
設備技術參數:
名稱晶圓擴膜機型號DSXUV-WE8
設備尺寸L693*W445*692mm適應產品尺寸晶圓3-8英寸
子母環大小外環:249mm,內環:227mm功率<400W
額定電壓AC 220V頻率50/60HZ
工作盤上升高
度/臺盤加熱
溫度
10-60mm/室溫0-80℃
(恒溫設計)
氣壓0.5-0.6Mpa
膠膜類型藍膜、UV膜、PVC膜等等膠膜厚度0.05-0.2mm
切膜方式圓周刀自動切膜
(因受圓周刀局限,臺面
需上升20mm后切割)
擴膜功能半自動式/手動控制
重量大約60kg質保期全新產品,非人為損壞,整機
質保一年

優勢特點:

1).擴膜的高度和速度可通過觸摸屏數字設定;

2).工作盤具有恒溫加熱功能,有助于膜的延展性;

3).調整工作盤上升的高度,即可調整經理之間的間距;

4).選配上置圓切自動割膜功能;

5)裝有氣彈簧,翻蓋省力功能;

6).7英寸觸摸屏,顯示參數,執行步驟,故障報警;

7).采用電機升降和進口氣缸升降完成擴膜工序,保證擴膜的一致性;

8).采用進口PLC做控制系統,可設定臺盤上升的預熱延時,擴膜延時等功能,更好的提升

擴膜機設備工藝要求
序號內容參數
1擴膜尺寸可擴膜的最大范圍是小于或等于6寸晶圓
2擴膜質量無崩膜,破膜,擴膜后,產品的圓心度誤差±
2mm以內
3擴膜機的X、Y方向偏差3毫米(排除貼膜時,晶圓放置的偏差)
4擴膜環和貼片環可固定裝有鐵環放置定位銷
5工作盤恒溫設計膜周邊擴張均勻適度
6參數加熱溫度,擴張時間、回程速度均可調
7特點工作盤升降過程中不會擠壓晶圓

技術服務:

1).賣方免費指導、安裝調試、技術支持、培訓、維修;

2).設備安裝調試驗收完成后12個月內賣方負責一年內免費保修(包括正常使用下損壞的配件)

3).保修期滿后賣方仍負責技術支持,賣方有償提供零部件;

4).賣方提供電話咨詢維修服務,及到廠緊急故障排除;


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