產品信息:
品質保證/超長質保/運轉無憂
| 型號 Model | DSX_21_12 | 玻璃 Glass | 石英玻璃 Quartz glass |
| 冷卻方式 Cool method | 風冷 Air cooled | 照射方向 Strahlrichtung | 由下往上照射 It shines from the top down |
| 發光體 luminous body | 365nm | 功率 Power | 2KW |
| 發光面積 ight area | 310mm(可定做) | 照度 lluminance | 600mw/cm2 |
| 均勻度 Uniformity | 90% | 機臺電壓 Machine voltage | 220V |
產品特點：
◆機身小巧，適合6/8/10/12寸芯片整片照射使用
◆時間和亮度可調，觸屏操作，簡單方便
◆自下而上照射，方便放置晶圓
◆LED冷光源環保產品，具有溫度低、曝光均勻、結構緊湊、能耗小、是半導體行業的理想機型，且低溫對熱敏材料無損害
◆使用壽命比普通汞燈壽命長10倍以上，連續使用壽命15000-30000H。
◆零維護成本，長期工作無需更換照射光源零件
◆封閉式光源設計，無紫外線側漏，對人體無損傷
